SUPRA 55/55VP
The SUPRA 55是一款拥有第三代GEMINI®镜筒的高性能场发射电子显微镜,它有独一无二的摆动缓冲系统,并结合了5轴驱动载物台,通过不断变换电压可以获得很高的分辨率。
对于使用者来说,The SUPRA 55的系统功能强大,可以在相对不稳定的环境下完成检测,完全分析型的场发射扫描电镜探针电流可达到20nA ,适用范围如材料领域、半导体技术生命科学和纳米技术领域等。
技术参数:
分辨率: 1.0nm @ 15 kV
1.7 nm @ 1 kV
3.5nm @0.2KV
4.0nm@0.1KV
2.0nm @30KV(VP mode)
放大倍数:12 - 900,000x
加速电压:0.1 - 30 kV
低压范围:2-133Pa 1Pa步进可调
探针电流:4 pA - 10 nA (4 pA - 20 nA 可选)
样品室: 330 mm (Ø) x 270 mm (h)
样品台: 5轴驱动
X = 130mm
Y = 130 mm
Z = 50mm
倾斜角T = -3 to 70°
R = 360°连续旋转
系统控制:基于Windows XP 的SmartSEM操作系统,可选鼠标、键盘、控制面板控制